高純度硼酸半導(dǎo)體應(yīng)用升級(jí)

　　高純度硼酸在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用升級(jí)，核心是純度突破與功能拓展雙驅(qū)動(dòng)，成為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵材料。
　　一、應(yīng)用升級(jí)核心方向
　　純度標(biāo)準(zhǔn)再升級(jí)，適配先進(jìn)制程。半導(dǎo)體級(jí)硼酸純度已從99.99%（4N）提升至99.9995%（5N5）以上，單項(xiàng)金屬雜質(zhì)含量控制在0.01ppm以內(nèi)，滿足12英寸晶圓制造需求。
　　功能場(chǎng)景持續(xù)拓展，覆蓋多核心工藝。不僅作為摻雜劑調(diào)節(jié)半導(dǎo)體導(dǎo)電性能、提高電子遷移率，還用于晶圓清洗去除表面污染物，同時(shí)在立方氮化硼（cBN）加工材料制備中發(fā)揮關(guān)鍵作用。
　　配套性能同步優(yōu)化，契合低碳與需求。通過(guò)工藝改良降低產(chǎn)品雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體器件的影響，助力提升芯片穩(wěn)定性，同時(shí)適配半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色制造趨勢(shì)。
　　二、升級(jí)背后的關(guān)鍵支撐
　　技術(shù)突破打破瓶頸。離子交換樹(shù)脂法、膜分離提純等技術(shù)的應(yīng)用，使高純度硼酸量產(chǎn)能力提升，國(guó)產(chǎn)自給率已達(dá)43%，逐步替代日本進(jìn)口產(chǎn)品。
　　市場(chǎng)需求拉動(dòng)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)高*材料的需求年均增速達(dá)20%，12英寸晶圓每萬(wàn)片消耗硼酸1.8-2.2噸，推動(dòng)應(yīng)用技術(shù)持續(xù)迭代。

　　政策導(dǎo)向準(zhǔn)確賦能。工信部將高純硼酸納入關(guān)鍵戰(zhàn)略材料目錄，專項(xiàng)基金支持提純技術(shù)攻關(guān)，加速應(yīng)用升級(jí)進(jìn)程。